Центр коллективного пользования «Синхротрон» отделения микроэлектронных технологий курчатовского комплекса синхротронно-нейтронных исследований |
Главная → Достижения → Наиболее значимые результаты, полученные с использованием научного оборудования ЦКП | ||
![]() О компании |
Наиболее значимые результаты, полученные с использованием научного оборудования ЦКП |
![]() Оборудование |
На основе комплементарной МОП технологии (КМОП) был разработан технологический маршрут изготовления полностью обедненных МОП транзисторов на КНИ подложке с применением самосовмещенной технологии формирования силицида в электродах транзистора. На основании полученных результатов даны рекомендации по корректировке параметров технологического процесса. Оптимизированная технология изготовления полностью обедненных КМОП структур с применением моносилицида никеля позволила получить транзисторы с низким энергопотреблением, а токи насыщения таких транзисторов на 20÷30 % превышают величины, характерные для объёмной технологии. Обладая высокой радиационной стойкостью и быстродействием, данные транзисторы могут быть успешно использованы в аэрокосмической технике, а низкое энергопотребление позволяет также применять их в автономных приборах и спецтехнике. Техническая цель работы состояла в обеспечении воспроизведения единицы напряжения 1В на эталонном оборудовании с помощью разрабатываемых джозефсоновских СПИС с точностью до 1·10 -9. Указанные технологии могут применяться при модифицировании медицинских полимеров, перспективных для использования в качестве имплантатов кратковременного и длительного действия в сердечно-сосудистой хирургии и офтальмологии. Социальные эффекты выражаются в уменьшении сроков реабилитации послеоперационных больных, сокращении смертности от сердечно-сосудистых заболеваний и травматизма, увеличении срока годности имплантатов и т.д. Прикладная часть работы направлена на применение разработанной технологии для изготовления изделий двойного назначения: фильтров наркозных аппаратов и крови, искусственной кожи, оксигенераторов, мешков для хранения крови, катетеров, ожоговых повязок, фильтров для очистки воды и других жидкостей, имплантатов долговременного действия (протезы кровеносных сосудов, сердечных клапанов, искусственных хрусталиков глаза). |
||
124460, Москва, г. Зеленоград, ул. конструктора Гуськова, дом 5. Тел: +7 (499) 214-01-14, Электронная почта: admin@niifp.ru, Факс: +7 (499) 731-55-92. kozlitin50@mail.ru. |
![]() |