- Бартенев В. Я., Козлитин А. И., Плесков Ю. В./ Электрохимические свойства поверхности кремния, модифицированной полианилином. // Тезисы доклада. VIII совещание «Физика поверхностных явлений в полупроводниках». г. Киев, ч. 1, 1984, сс. 38 −39.
- Борисов А. Г., Козлитин А. И, Копейкина С. А. / Влияние режимов синтеза стекла на процесс электрофоретического нанесения диэлектрического покрытия на металл. //Сб. научн. Трудов МИЭТ, Сер. Материалы и тех. Процессы микроэлектроники, г. Москва, МИЭТ, 1986, сс. 114 −117.
- Коллектив авторов. / Разработка и испытание лабораторного макета измерителя линейных размеров для субмикронной области. // Научно-технический отчет по НИР «Нарочь», г. Москва, 1986, 106 с., Рег. № ф 24566/15000028.
- Коллектив авторов. / Разработка практического метода измерений размеров на ЭЛУ ZRM20. // Научно-технический отчет по НИР «Нарочь 86», г. Москва, 1987, 81 с., Рег. № ф 29426/6004672.
- Аммосов Р. М., Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Количественная оценка разрешающей способности растрового электронного микроскопа. // Измерительная техника. 1987, вып. 2, сс. 22 −23.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В./ Расчет плотности генерации МВЭ в толще однородной проводящей мишени. // Тезисы доклада Всесоюзного семинара «Микролитография», Черноголовка, 1988, с. 124.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Модель формирования РЭМ- изображения объектов с произвольной глубиной рельефа. // Электронная техника. Сер. 3, 1988, вып. 4, с. 67.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Теория формирования РЭМ-изображения и ее применение к измерению субмикронных размеров. // Тезисы доклада Всесоюзного симпозиума по электронной микроскопии, Звенигород, 1989, с. 43.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Применение теории формирования РЭМ-изображения к повышению точности измерений на ЭЛУ ZRM20. // Тезисы доклада Всесоюзной конференции по физическим основам твердотельной электроники. Ленинград, 1989, с. 125.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Особенности формирования РЭМ- изображения гетерогенных топографических структур. // Электронная техника. Сер. 3, 1989, вып. 5, с. 5759.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / РЭМ-измерения тонкопленочных диэлектрических структур. // Тезисы доклада Всесоюзного симпозиума по электронной микроскопии, Звенигород, 1989, с. 47.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / РЭМ-контроль линейных размеров элементов ИС. // Тезисы доклада VII Международной конференции по микроэлектронике. Минск, 1990, Т.1, с. 270.
- Колобов В. В., Козлитин А. И., Масловский В. М., Минаев А. В., Тарасенко К. Ю. / Исследование дефектности тонких пленок диоксида кремния методами электрохимии и растровой электронной микроскопии. // Электронная техника. Сер. 3, 1989, вып. 5, сс. 1417.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Моделирование РЭМ-изображения на основе уравнения Больцмана альтернатива методу Монте-Карло. // Тезисы доклада VII Международной конференции по микроэлектронике. Минск, 1990, Т.3, сс. 6062.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Влияние шумов на точность измерений в растровом электронном микроскопе. // Электронная техника. Сер. 3, 1990, вып. 5, с. 8182.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н. / Проблема РЭМ-контроля линейных размеров диэлектрических пленочных элементов. // Электронная техника. Сер. 3, 1991, вып. 2, с. 5962.
- Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Измерения линейных размеров элементов интегральных схем в субмикронном диапазоне. // Тезисы доклада Всесоюзной конференции. Метрологические проблемы микроэлектроники. Пос. Менделеево, 1991, сс. 7273.
- Козлитин А. И. / Интеллектуальный измерительный РЭМ. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 5.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Ладнов И. В. / Коллективные эффекты при измерении размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 41.
- Козлитин А. И., Никитин А. В. / Точность измерений линейных размеров в РЭМ. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 42.
- Козлитин А. И., Никитин А. В. / Точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Известия РАН,. Сер. Физическая, 1993, Е. 57, № 9, сс. 1724.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе с рекордной точностью. // Тезисы доклада международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, 1993, сс. 103104.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Высокоточный метод измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Измерительная техника, 1994, № 6, сс. 1214.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод прецизионных измерений субмикронных и нанометровых объектов в РЭМ. // Электронная промышленность, 1994, № 78, сс. 163168.
- Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. / Measurement of submicron linewidth with record accuracy. // J. Adv. Material (Brit.), 1994, № 1(4), pp. 312315.
- Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. // Optical Engenering Bulletin, 1994, № 2, р. 54.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Новый метод высокоточных измерений субмикронных структур в РЭМ. // Оптическая техника, 1994, № 2, с. 59.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод прецизионных измерений субмикронных и нанометровых объектов в РЭМ. // Электронная промышленность, 1994, № 78 сс. 163168.
- Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. Шумы и точность измерений размеров в растровом электронном микроскопе. Измерительная техника, 1994, № 11, с. 2427.
- Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. / High-Precision Method of Measuring Linear Dimensions in a Raster Electron Microscope. // Measurement Technigue Vol. 37, № 6, 1994, pp. 613617.
- Козлитин А. И., Никитин А. В. / Модель формирования РЭМ-изображения в отраженных электронах. // Измерительная техника, 1995, № 2, с. 2124.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Дифракционная решетка как мера для калибровки увеличения растрового электронного микроскопа. // Измерительная техника, 1995, № 9, с. 3335.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Метод прецизионных измерений малых линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада первой республиканской конференции UzPEC1, Ташкент, 1995, с. 53.
- Kozlitin A.I., Nikitin A.V., Repin O.I., Sterensky V.N. / The Automatized Measurments of Ultra Small Dimensions with Using of the Theoretical Modeles and Natural Constants (The «Standardless» Method) // Journ. Of Advanced Materials. 1995, N5, pp. 2429.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Математические модели процессов формирования видеосигнала в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада первой республиканской конференции UzPEC1, Ташкент, 1995, с. 52.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Прецизионный измеритель малых линейных размеров на базе серийного растрового электронного микроскопа общего применения. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 161162.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И./ Достижимая точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 135.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И / Модель формирования видеосигнала в обратнорассеянных электронах для растрового электронного микроскопа. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 153.
- Kozlitin A.I., Nikitin A.V., Repin O. I. / Statistical Analysis of Videosignal Noise in Scanning Electron Microscope for Various Materials. // Journ. Of Advanced Materials (Brit). 1995, N2(1), pp. 8284.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И / Погрешность и достижимая точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Известия РАН Сер. Физическая, 1996, Т. 60, № 2, сс. 7783.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н. / Обеспечение точности при автоматизированных измерениях сверхмалых размеров с использованием теоретических моделей и мер с природными константами. // Прикладная физика. 1996, вып. 1 сс 3035.
- Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н., / Безэталонные методы измерений линейных размеров. // Измерительная техника, 1996, № 5, сс. 1719.
- В. В. Календин, А. И. Козлитин, А. В. Пилевин, В. Н. Сретенов / Метрологическое обеспечение измерений сверх малых размеров с использованием теоретических моделей, мер и природных констант. // Измерительная техника, 1996г., стр. 1519.
- В. В. Календин, А. И. Козлитин, А. В. Никитин, В. Н. Сретенский. / Метрологическое обеспечение автоматизированных измерений малых размеров с использованием теоретических моделей и мер. // Измерительная техника. 1997, N4, стр. 3136.
- M.Yu. Ilyin, A.I. Kozlitin, S.K. Maksimov, A.V. Nikitin, V. V. Bannikov. / High Accuracy Measurements of Line Dimensions of Sub- 0.25 Micron and Nanometer. // Scanning. The Journal Scanning Microscopies, 1997. V. 19. No 3. P. 224225.
- М. Ю. Ильин, А. И. Козлитин, С. К. Максимов, А. В. Никитин. / Способ измерения линейных размеров. // Патент № 2134864,.
- Козлитин А. И. /Особенности моделирования РЭМ видеосигнала от слабопроводящих структур при низковольтном режиме // Тезисы доклада. XIX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2002, с. 96.
- Алехин А. П., Козлитин А. И. / ЦКП и Микроэлектроника. //Тезисы доклада. Всероссийская конференция «Центры коллективного пользования: состояние и перспективы», Санкт-Петербург, 2004, с. 27.
- Козлитин А. И., Кузнецов Н. В., Козлитин И. А. / Итерационный подход к решению упрощенной обратной задачи // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 98.
- Беляев С. Н., Козлитин А. И., Кузнецов Н. В., Масловский В. М. /Абсолютные измерения в мезаэлектронной технологии // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 73.
- Гаврилов С. А., Дзбановский Н. Н., Ильичев Э. А., Козлитин А. И., Минаков П. В., Рычков Г. С., Полторацкий Э. А., Суэтин Н. В. /Вторичная эмиссия электронов из структурированных алмазных пленок // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 25.
- С. А. Гаврилов, Э. А. Ильичев, А. И. Козлитин, Э. А. Полторацкий, Г. С. Рычков, Н. Н. Дзбановский, В. В. Дворкин, Н. В. Суетин / Латеральный эмиттер как базовый элемент интегральной эмиссионной электроники // ПЖТФ, 2004, том 30, выпуск 11, с. 19.
- Козлитин А. И. /Применение меры МШПС-2.0К: проблема решения некорректной обратной задачи // Тезисы доклада. V Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика 2005», г. Москва, 2005, с. 23.
- Дюжев Н. А., Козлитин А. И., Максимов С. К., Шокин А. Н. / Проблема измерений нанометрового радиуса закругления кончика иглы кантилевера методами электронной микроскопии // Тезисы докладов. V Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика 2005», г. Москва, 2005, с. 69.
- Козлитин А. И. /Роль взаимного дополнения атомно-силовой и электронной микроскопии в метрологии критических размеров // Тезисы докладов. Конференция «Нанотехнологии производству-2006», г. Фрязино, 2006, с. 6.
-
Козлитин А. И. / Метрология критических размеров: проблема аттестации зонда кантилевера АСМ // Тезисы докладов, III Всероссийская конференция Центров коллективного пользования, г. Казань, 2006, с 69.
- Алехин А. П., Кириленко А. Г., Козлитин А. И., Лапшин Р. В., Мазуренко С. Н. / Синтез гидрофобно-гидрофильных наноструктур на поверхности полимеров с помощью углеродной низкотемпературной плазмы // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, вып. 11, с. 12.
- Козлитин А. И., Железнов В. В., Кириленко Е. П., Сарайкин В. В., Трифонов А. Ю. ЦКП «Синхротрон»: направления исследования и инновации // тезисы докладов конференции «Центры коллективного пользования (ЦКП) и испытательные лаборатории в исследованиях материалов: диагностика, стандартизация, сертификация и метрология». 1213 декабря2007 г. Гиредмет, Москва, с. 29
- Kirilenko E., Kouznetsov E., Kozlitin A., Rybachek E., Trifonov A. / Investigation of CMOS transistor layers produced using salicide technology by SIMS and AES methods // International Conference «Micro- and nanoelectronics-2007» Book of Abstracts, October 1st-5th 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, P249
- Kozlitin A, Zheleznov V. / Calculation of fast electrons distribution in diamond film // International Conference «Micro- and nanoelectronics-2007» Book of Abstracts, October 1st-5th 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, P211
|