О компании
Оборудование
Услуги
Сотрудники
Достижения
Контакты
  ГлавнаяСотрудникиКозлитин Алексей Иванович  

Козлитин
Алексей Иванович

Публикации

Оборудование:
Растровый электронный микроскоп CAMSCAN - S4
Растровый электронный микроскоп CAMSCAN - S4
  1. Бартенев В. Я., Козлитин А. И., Плесков Ю. В./ Электрохимические свойства поверхности кремния, модифицированной полианилином. // Тезисы доклада. VIII совещание «Физика поверхностных явлений в полупроводниках». г. Киев, ч. 1, 1984, сс. 38 −39.
  2. Борисов А. Г., Козлитин А. И, Копейкина С. А. / Влияние режимов синтеза стекла на процесс электрофоретического нанесения диэлектрического покрытия на металл. //Сб. научн. Трудов МИЭТ, Сер. Материалы и тех. Процессы микроэлектроники, г. Москва, МИЭТ, 1986, сс. 114 −117.
  3. Коллектив авторов. / Разработка и испытание лабораторного макета измерителя линейных размеров для субмикронной области. // Научно-технический отчет по НИР «Нарочь», г. Москва, 1986, 106 с., Рег. № ф 24566/15000028.
  4. Коллектив авторов. / Разработка практического метода измерений размеров на ЭЛУ ZRM—20. // Научно-технический отчет по НИР «Нарочь —  86», г. Москва, 1987, 81 с., Рег. № ф 29426/6004672.
  5. Аммосов Р. М., Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Количественная оценка разрешающей способности растрового электронного микроскопа. // Измерительная техника. 1987, вып. 2, сс. 22 −23.
  6. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В./ Расчет плотности генерации МВЭ в толще однородной проводящей мишени. // Тезисы доклада Всесоюзного семинара «Микролитография», Черноголовка, 1988, с. 124.
  7. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Модель формирования РЭМ- изображения объектов с произвольной глубиной рельефа. // Электронная техника. Сер. 3, 1988, вып. 4, с. 67.
  8. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Теория формирования РЭМ-изображения и ее применение к измерению субмикронных размеров. // Тезисы доклада Всесоюзного симпозиума по электронной микроскопии, Звенигород, 1989, с. 43.
  9. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Применение теории формирования РЭМ-изображения к повышению точности измерений на ЭЛУ ZRM—20. // Тезисы доклада Всесоюзной конференции по физическим основам твердотельной электроники. Ленинград, 1989, с. 125.
  10. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Особенности формирования РЭМ- изображения гетерогенных топографических структур. // Электронная техника. Сер. 3, 1989, вып. 5, с. 57—59.
  11. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / РЭМ-измерения тонкопленочных диэлектрических структур. // Тезисы доклада Всесоюзного симпозиума по электронной микроскопии, Звенигород, 1989, с. 47.
  12. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / РЭМ-контроль линейных размеров элементов ИС. // Тезисы доклада VII Международной конференции по микроэлектронике. Минск, 1990, Т.1, с. 270.
  13. Колобов В. В., Козлитин А. И., Масловский В. М., Минаев А. В., Тарасенко К. Ю. / Исследование дефектности тонких пленок диоксида кремния методами электрохимии и растровой электронной микроскопии. // Электронная техника. Сер. 3, 1989, вып. 5, сс. 14—17.
  14. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Моделирование РЭМ-изображения на основе уравнения Больцмана — альтернатива методу Монте-Карло. // Тезисы доклада VII Международной конференции по микроэлектронике. Минск, 1990, Т.3, сс. 60—62.
  15. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Влияние шумов на точность измерений в растровом электронном микроскопе. // Электронная техника. Сер. 3, 1990, вып. 5, с. 81—82.
  16. Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н. / Проблема РЭМ-контроля линейных размеров диэлектрических пленочных элементов. // Электронная техника. Сер. 3, 1991, вып. 2, с. 59—62.
  17. Железнов В. В., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Измерения линейных размеров элементов интегральных схем в субмикронном диапазоне. // Тезисы доклада Всесоюзной конференции. Метрологические проблемы микроэлектроники. Пос. Менделеево, 1991, сс. 72—73.
  18. Козлитин А. И. / Интеллектуальный измерительный РЭМ. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 5.
  19. Козлитин А. И., Никитин А. В., Ладнов И. В. / Коллективные эффекты при измерении размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 41.
  20. Козлитин А. И., Никитин А. В. / Точность измерений линейных размеров в РЭМ. // Тезисы доклада на VIII симпозиумt по РЭМ-93, Черноголовка, 1993, с. 42.
  21. Козлитин А. И., Никитин А. В. / Точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Известия РАН,. Сер. Физическая, 1993, Е. 57, № 9, сс. 17—24.
  22. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе с рекордной точностью. // Тезисы доклада международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, 1993, сс. 103—104.
  23. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Высокоточный метод измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Измерительная техника, 1994, № 6, сс. 12—14.
  24. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод прецизионных измерений субмикронных и нанометровых объектов в РЭМ. // Электронная промышленность, 1994, № 7—8, сс. 163—168.
  25. Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. / Measurement of submicron linewidth with record accuracy. // J. Adv. Material (Brit.), 1994, № 1(4), pp. 312—315.
  26. Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. // Optical Engenering Bulletin, 1994, № 2, р. 54.
  27. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Новый метод высокоточных измерений субмикронных структур в РЭМ. // Оптическая техника, 1994, № 2, с. 59.
  28. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. / Метод прецизионных измерений субмикронных и нанометровых объектов в РЭМ. // Электронная промышленность, 1994, № 7—8 сс. 163—168.
  29. Аммосов Р. М., Козлитин А. И., Никитин А. В. Шумы и точность измерений размеров в растровом электронном микроскопе. Измерительная техника, 1994, № 11, с. 24—27.
  30. Ammosov R. M., Kozlitin A.I., Nikitin A.V. / High-Precision Method of Measuring Linear Dimensions in a Raster Electron Microscope. // Measurement Technigue Vol. 37, № 6, 1994, pp. 613—617.
  31. Козлитин А. И., Никитин А. В. / Модель формирования РЭМ-изображения в отраженных электронах. // Измерительная техника, 1995, № 2, с. 21—24.
  32. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Дифракционная решетка как мера для калибровки увеличения растрового электронного микроскопа. // Измерительная техника, 1995, № 9, с. 33—35.
  33. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Метод прецизионных измерений малых линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада первой республиканской конференции UzPEC—1, Ташкент, 1995, с. 53.
  34. Kozlitin A.I., Nikitin A.V., Repin O.I., Sterensky V.N. / The Automatized Measurments of Ultra Small Dimensions with Using of the Theoretical Modeles and Natural Constants (The «Standardless» Method) // Journ. Of Advanced Materials. 1995, N5, pp. 24—29.
  35. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Математические модели процессов формирования видеосигнала в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада первой республиканской конференции UzPEC—1, Ташкент, 1995, с. 52.
  36. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И. / Прецизионный измеритель малых линейных размеров на базе серийного растрового электронного микроскопа общего применения. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 161—162.
  37. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И./ Достижимая точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 135.
  38. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И / Модель формирования видеосигнала в обратнорассеянных электронах для растрового электронного микроскопа. // Тезисы доклада II Международной конференции «Микроэлектроника и информатика», Москва, Зеленоград, 1995, с. 153.
  39. Kozlitin A.I., Nikitin A.V., Repin O. I. / Statistical Analysis of Videosignal Noise in Scanning Electron Microscope for Various Materials. // Journ. Of Advanced Materials (Brit). 1995, N2(1), pp. 82—84.
  40. Козлитин А. И., Никитин А. В., Репин О. И / Погрешность и достижимая точность измерений линейных размеров в растровом электронном микроскопе. // Известия РАН Сер. Физическая, 1996, Т. 60, № 2, сс. 77—83.
  41. Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н. / Обеспечение точности при автоматизированных измерениях сверхмалых размеров с использованием теоретических моделей и мер с природными константами. // Прикладная физика. 1996, вып. 1 сс 30—35.
  42. Козлитин А. И., Никитин А. В., Сретенский В. Н., / Безэталонные методы измерений линейных размеров. // Измерительная техника, 1996, № 5, сс. 17—19.
  43. В. В. Календин, А. И. Козлитин, А. В. Пилевин, В. Н. Сретенов / Метрологическое обеспечение измерений сверх малых размеров с использованием теоретических моделей, мер и природных констант. // Измерительная техника, 1996г., стр. 15—19.
  44. В. В. Календин, А. И. Козлитин, А. В. Никитин, В. Н. Сретенский. / Метрологическое обеспечение автоматизированных измерений малых размеров с использованием теоретических моделей и мер. // Измерительная техника. 1997, N4, стр. 31—36.
  45. M.Yu. Ilyin, A.I. Kozlitin, S.K. Maksimov, A.V. Nikitin, V. V. Bannikov. / High Accuracy Measurements of Line Dimensions of Sub- 0.25 Micron and Nanometer. // Scanning. The Journal Scanning Microscopies, 1997. V. 19. No 3. P. 224—225.
  46. М. Ю. Ильин, А. И. Козлитин, С. К. Максимов, А. В. Никитин. / Способ измерения линейных размеров. // Патент № 2134864,.
  47. Козлитин А. И. /Особенности моделирования РЭМ — видеосигнала от слабопроводящих структур при низковольтном режиме // Тезисы доклада. XIX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2002, с. 96.
  48. Алехин А. П., Козлитин А. И. / ЦКП и Микроэлектроника. //Тезисы доклада. Всероссийская конференция «Центры коллективного пользования: состояние и перспективы», Санкт-Петербург, 2004, с. 27.
  49. Козлитин А. И., Кузнецов Н. В., Козлитин И. А. / Итерационный подход к решению упрощенной обратной задачи // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 98.
  50. Беляев С. Н., Козлитин А. И., Кузнецов Н. В., Масловский В. М. /Абсолютные измерения в мезаэлектронной технологии // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 73.
  51. Гаврилов С. А., Дзбановский Н. Н., Ильичев Э. А., Козлитин А. И., Минаков П. В., Рычков Г. С., Полторацкий Э. А., Суэтин Н. В. /Вторичная эмиссия электронов из структурированных алмазных пленок // Тезисы доклада. XX Российская конференция по электронной микроскопии. п. Черноголовка, 2004, с. 25.
  52. С. А. Гаврилов, Э. А. Ильичев, А. И. Козлитин, Э. А. Полторацкий, Г. С. Рычков, Н. Н. Дзбановский, В. В. Дворкин, Н. В. Суетин / Латеральный эмиттер как базовый элемент интегральной эмиссионной электроники // ПЖТФ, 2004, том 30, выпуск 11, с. 19.
  53. Козлитин А. И. /Применение меры МШПС-2.0К: проблема решения некорректной обратной задачи // Тезисы доклада. V Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика —  2005», г. Москва, 2005, с. 23.
  54. Дюжев Н. А., Козлитин А. И., Максимов С. К., Шокин А. Н. / Проблема измерений нанометрового радиуса закругления кончика иглы кантилевера методами электронной микроскопии // Тезисы докладов. V Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика —  2005», г. Москва, 2005, с. 69.
  55. Козлитин А. И. /Роль взаимного дополнения атомно-силовой и электронной микроскопии в метрологии критических размеров // Тезисы докладов. Конференция «Нанотехнологии — производству-2006», г. Фрязино, 2006, с. 6.
  56. Козлитин А. И. / Метрология критических размеров: проблема аттестации зонда кантилевера АСМ // Тезисы докладов, III Всероссийская конференция Центров коллективного пользования, г. Казань, 2006, с 69.
  57. Алехин А. П., Кириленко А. Г., Козлитин А. И., Лапшин Р. В., Мазуренко С. Н. / Синтез гидрофобно-гидрофильных наноструктур на поверхности полимеров с помощью углеродной низкотемпературной плазмы // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, вып. 11, с. 12.
  58. Козлитин А. И., Железнов В. В., Кириленко Е. П., Сарайкин В. В., Трифонов А. Ю. ЦКП «Синхротрон»: направления исследования и инновации // тезисы докладов конференции «Центры коллективного пользования (ЦКП) и испытательные лаборатории — в исследованиях материалов: диагностика, стандартизация, сертификация и метрология». 12—13 декабря2007 г. Гиредмет, Москва, с. 29
  59. Kirilenko E., Kouznetsov E., Kozlitin A., Rybachek E., Trifonov A. / Investigation of CMOS transistor layers produced using salicide technology by SIMS and AES methods // International Conference «Micro- and nanoelectronics-2007» Book of Abstracts, October 1st-5th 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, P2—49
  60. Kozlitin A, Zheleznov V. / Calculation of fast electrons distribution in diamond film // International Conference «Micro- and nanoelectronics-2007» Book of Abstracts, October 1st-5th 2007, Moscow-Zvenigorod, Russia, P2—11
 

124460, Москва, г. Зеленоград, ул. конструктора Гуськова, дом 5.

Тел: +7 (499) 214-01-14,          Электронная почта: admin@niifp.ru

Факс: +7 (499) 731-55-92.      

Rambler's Top100