Профилометр Alpha-Step 200  (Tencor Instruments)

Описание установки:

Прибор предназначен для измерения профиля «плоской» поверхности посредством механического сканирования иглы-зонда.

Область применения:

• определение толщины различных пленок при напылении на плоскую поверхность;
• определение качества поверхности и толщины фоторезиста при проведении фотолитографии;
• определение качества формирования топологии различными видами травления (жидкостное, ионное и т. д.);
• измерение шероховатости поверхности;
• определение скорости ионного распыления в профильных исследованиях методами ВИМС и оже-спектроскопии по измерениям кратеров травления.

Технические характеристики

Динамический диапазон измерений составляет 5 Å ÷ 3200 КÅ (320 мкм) по глубине, максимальная длина линии сканирования по поверхности 10 мм. Латеральное разрешение определяется количеством точек на один скан (максимальное количество точек 2000).

Прибор имеет два диапазона изьерений:

± 160 КÅ (разрешение по глубине 5 Å);

± 160 мкм (разрешение по глубине 5 Нм).

Сменные иглы имеют радиус 1.5 ÷ 2.5 мкм, 5 мкм, 12.5 мкм и 25 мкм. Нагрузка на иглу изменяется от 1 до 25 МГ.

Максимальный размер образцов:

• толщина 16,5 мкм;
• диаметр 162 мм.

124460, Москва, г. Зеленоград, ул. конструктора Гуськова, дом 5.

Тел: +7 (499) 214-01-14,          Электронная почта: admin@niifp.ru,

Факс: +7 (499) 731-55-92.                                    kozlitin50@mail.ru.